1、真空鍍膜機擴散泵的冷卻水在工作過程中一定要平穩，停止加熱后，待泵工作液完全冷卻后再關閉冷卻水。

　　2、擴散泵停止工作時，應保持泵處于真空狀態，以免泵油變質。

　　3、被擴散泵送的氣體應是干燥、無腐蝕性、無粉塵的氣體。

　　4、如果擴散泵暫時不使用，儲存時應保持真空狀態，以免泵油污染和腐蝕各部件，并將冷卻水套的剩余水吹干凈。將室溫保持在10至40攝氏度之間。

　　5、擴散泵性能在長期工作后會逐漸惡化，應定期檢查。如、泵油是否被還原或氧化，按相應要求進行加油或更換處理;零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丙酮擦洗，在80-100攝氏度下烘干或用吹風機吹干。加工后，依次組裝，保持泵芯與泵底垂直，泵腔同心，各級噴嘴間隙應按原要求調整。

　　6、待水揮發干燥后，安裝泵芯，添加新的擴散泵油，并安裝回機體，連接水管，安裝爐板，即可重新啟動。

　　7、在重新開啟真空鍍膜機之前，要注意檢漏。方法是、啟動維修泵，關好門，幾分鐘后，觀察真空度，并檢查連接處密封膠圈是否泄漏，或密封圈是否斷裂。隱藏的漏氣可以在消除前加熱，否則擴散泵油燒壞無法進入工作狀態

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