真空電鍍時產生掉膜的原因很多也很復雜。處理起來很棘手，可以考慮從以下幾個方面排除：

　　1、表面清潔度

　　產品表面潔凈度不夠，可以考慮離子源清洗時氬氣放大、時間長點。

　　2、清洗過程中的問題

　　鍍前清洗不到位，或更換了清洗液。

　　3、工藝的問題

　　工藝參數是否有變動，在鍍膜時間和電流上做適當調整。

　　4、靶材的問題

　　鈦靶是否中毒，檢查和更換。

　　5、真空腔是否漏氣

　　進行一次撿漏。

　　6、產品表面氧化

　　氧化的原因很多，可以自行判斷處理。

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